Резиденты ОЭЗ «Технополис Москва» запатентовали 28 новых разработок, включая уникальный аппарат-амфибию и технологию для микрочипов, с начала 2026 года.
Читать далее »Новости по запросу: микрочипы
Дистанционное измерение нагрева микрочипов с помощью люминесцентных датчиков
В СПбГУ разработали дистанционный метод измерения нагрева микрочипов на основе люминесцентных датчиков с эрбием и иттербием.
Читать далее »Создание нового оборудования для производства микрочипов в России
Российские специалисты разработали первые отечественные кластерные установки для плазмохимического травления и осаждения, предназначенные для производства микрочипов с проектными нормами до 65 нм. Это оборудование может обрабатывать кремниевые пластины диаметром до 300 мм, выполняя высокоточные операции, такие как нанесение тонких изолирующих пленок (оксида и нитрида кремния) и плазмохимическое травление для создания наноструктур. Одной из ключевых особенностей является работа в вакууме, что …
Читать далее »