Новости по запросу: электронно-лучевая литография

Зеленоградский нанотехнологический центр разработал опытные образцы установок электронно-лучевой литографии с проектными нормами 150 нм для безмасковой литографии.

Специалисты Физического института имени Лебедева создали на основе переставшего производиться после распада Советского Союза электронного нанолитографа установку для получения отечественных компонентов рентгеновской и дифракционной оптики. «В качестве базы для установки мы взяли электронный нанолитограф ZBA, разработанный в 1980–1990 годах консорциумом стран Совета экономической взаимопомощи (СЭВ). В СССР, странах СЭВ и на постсоветском пространстве работали несколько сотен таких установок, и значительная …