
В России создана первая установка для производства высокочистого бромида водорода. Инжиниринговый химико-технологический центр совместно с Национальным исследовательским Томским государственным университетом завершил разработку установки, обеспечивающей получение бромида водорода (HBr) чистотой 5N.
Ожидается, что в первом полугодии 2026 года 100 кг данного материала будет поставлено на российские предприятия для нужд микроэлектроники. Установка, расположенная в Томске на опытно-промышленной площадке ИХТЦ при ТГУ, имеет годовую производительность до 650 кг и готова к запуску.
Сверхчистый бромид водорода используется в микроэлектронике как технологический газ для плазмохимического травления кремния и поликремния, обеспечивая высокую анизотропию и точное формирование субмикронных структур. Чистота HBr критически важна для снижения дефектов и предотвращения загрязнения при производстве современных интегральных схем, включая микросхемы для банковских и транспортных карт.
Источник: ИХТЦ

Источник: @vremyavperedrus