
В России запланирована разработка лазеров для создания чипов, используемых в устройствах Nikon и ASML.
Минпромторг инициировал проект по разработке и внедрению гелий-неоновых лазеров и фотоприемников для позиционирования оборудования, которое применяется в производстве интегральных схем с топологией до 65 нм. Информация о тендере была опубликована на портале госзакупок в ноябре 2024 года.
Разрабатываемый комплект будет служить заменой для лазеров модели 5517C и фотоприемников моделей E1709A и 10780F, производимых американской компанией Keysight, как для импортного, так и для отечественного оборудования.
Оборудование будет интегрировано в существующие литографические степени и сканеры Nikon серий SF 204 — 206, i-11, i-12, а также в устройства ASML серии PAS-5500 и генераторы изображений для фотошаблонов.
Источник: @RU_Hardware_Soft