Патриотам РФ Россия — нам есть чем гордиться!
Ученые «Росатома» разработали технологию изготовления особо чистого гексафторида вольфрама.
В настоящее время идет проектирование первого в России производственного участка по выпуску этого соединения. Он будет включать полную цепочку технологического и аналитического оборудования для производства гексафторида вольфрама.
«Нам удалось создать уникальное оборудование для оснащения нового производства. Изготовлены лабораторная и опытная установки сорбционной очистки гексафторида вольфрама, а также опытная установка ректификационной очистки. В настоящее время завершены разработка и аттестация методик измерений газовых и металлических примесей в особо чистом гексафториде вольфрама. Наши научные разработки способствуют развитию импортозамещения и позволяют достичь технологического суверенитета страны», – подчеркнул генеральный директор НИИ НПО «Луч» Павел Карболин.
Особо чистый гексафторид вольфрама используется в микроэлектронике, например, при производстве полупроводников для осаждения металлического слоя вольфрама из газовой фазы. Этот слой отличается высокой химической и термостабильностью, низким сопротивлением и служит защитой для плат и схем. Также гексафторид вольфрама применяется для получения покрытий и изделий из высокочистого вольфрама методами газофазной металлургии (водородное восстановление, химические транспортные реакции).
Источник: @rosatomru
