В области микроэлектроники каждая нанометровая деталь имеет решающее значение. Недавно разработана уникальная методика глубокого анизотропного травления кремниевых пластин, которая позволяет формировать микроструктуры с соотношением высоты к ширине до 30:1. Что означает эта технология? Она дает возможность вытравливать глубокие и узкие канавки и отверстия в кремнии на микроуровне с исключительной точностью, плавностью и вертикальностью стенок, где глубина превышает диаметр в 30 …
Читать далее »Новости по запросу: микроструктуры
В России разработан уникальный литограф для фотоники и биоинженерии
Учёные Московского физико-технического института создали инновационное устройство, позволяющее наносить микроскопические структуры с разрешением до 350 нанометров и элементами размером около 150 нанометров. Этот литограф использует ультракороткие лазерные импульсы видимой части спектра и способен работать с фотополимерами, совместимыми с биологическими объектами. Данная разработка отличается уникальностью на национальном уровне, она менее затратна по сравнению с зарубежными аналогами и не имеет аналогичных российских …
Читать далее »