В области микроэлектроники каждая нанометровая деталь имеет решающее значение. Недавно разработана уникальная методика глубокого анизотропного травления кремниевых пластин, которая позволяет формировать микроструктуры с соотношением высоты к ширине до 30:1. Что означает эта технология? Она дает возможность вытравливать глубокие и узкие канавки и отверстия в кремнии на микроуровне с исключительной точностью, плавностью и вертикальностью стенок, где глубина превышает диаметр в 30 …
Читать далее »